技”,它不是一个传统意义上的机器,这个概念就是错误。
这玩意儿根本不是传统意义上的流水线产品,它更像是把人类目前掌握的最顶尖的物理、化学、光学、材料学,全部强行揉捏在一起,塞进一个集装箱大小的金属圆球里。
光刻机的作用,用一句话总结就是:在比头发丝还细几万倍的硅片上,画出拥有上百亿个晶体管的“超级城市地图”。
你可以把它想象成一台极其变态的“幻灯机”。
幻灯片就是设计好的图纸,底片就是涂了感光液的硅片(晶圆)。光照过去,图纸上的电路就印在了硅片上。
听起来是不是很简单?但如果你要把几十亿条线塞进一个指甲盖大小的芯片里,这束“光”的要求就离谱到了反人类的程度。
这里面最牛逼的两个核心技术,简直就是在挑战物理学的极限。
极紫外光(EUV)的波长极短,只有13.5纳米。这种光极度娇贵,自然界根本不存在,甚至连空气都能把它瞬间吸收。
所以,整个机器内部必须是绝对真空。
那这种光是怎么造出来的?
ASML(阿斯麦)的做法是:在真空中,每秒钟滴下5万滴比头发丝还细的液态金属锡(锡滴)。然后,用一台功率大到能切钢板的高能二氧化碳激光器,去轰击这些下落的锡滴。
最离谱的是,还得连开两枪:第一枪(预脉冲),把圆形的锡滴打扁;第二枪(主脉冲),瞬间把它轰成等离子体,这瞬间才会爆发出那一抹极紫外光。
是不是听不懂?没关系,我给你解释一下。
这操作,相当于你在高速公路上开着跑车,用狙击步枪连续两次命中一英里外同一只正在飞行的蚊子的左翅膀。
你是不是觉得好像也没有那么的难,对吧?
但是如果要命中的次数是每秒钟要打中5万次,连续工作几个月不能失误呢?
那么请问阁下又该如何应对呢?
就算到了这一步,你真的把这个光造出来了。那也仅仅只是开始,你还得把它反射、聚焦到硅片上。既然连空气都会吸收EUV光,普通的玻璃透镜当然也会。
所以只能用一层层镀膜的反射镜。
有人会问了,不就是一面镜子吗?那我分分钟不造个百八十个?
可惜的是,这面镜子全世界只有一个地方能够造出来,它的名字叫做德国蔡司。
你是不是不知道这家公司干嘛
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